Medição de superfícies sem contacto, precisão nanométrica
O TR Scan Premium permite a medição das superfícies mais sensíveis com uma velocidade e precisão surpreendentes. Tornou-se inevitável em muitos casos para aplicações de alta tecnologia, quando a medição tradicional por contacto atingiu os seus limites. Aparelhos médicos, próteses, wafers, MEMS, semicondutores, depósitos de camadas metálicas, filmes de polímeros, componentes ópticos, investigação e desenvolvimento, controlo de qualidade, são as áreas de especialização do TR Scan Premium.
A velocidade de medição excecionalmente elevada, aliada a uma gama de precisão de um nanómetro, constituem as principais vantagens do TR Scan. São necessários apenas alguns microssegundos para a aquisição de uma imagem tridimensional.
- Sem contacto
- Velocidade de medição excecional
- Resolução nanométrica
- Software de última geração
- Modelos de medição pré-programados
- Compatível com as normas 2D e 3D
- Ótica permutável ou montada num carrossel
| Especificações |
CCM-L1 0,2 mm |
CCM-L1 1mm |
CCM-L1 4mm |
| Gama de medição vertical |
200 µm |
0,95 mm |
3,9 mm |
| Largura da linha |
0,96 mm ± 0,01 mm |
1,91 mm ± 0,01 mm |
4,78 mm ± 0,02 mm |
| Espaçamento lateral |
5 µm |
10 µm |
25 µm |
| Distância de trabalho |
5,3 mm ± 0,2 mm |
18,5 mm ± 0,2 mm |
41 mm ± 0,2 mm |
| Tamanho do ponto |
2 µm |
4 µm |
10 µm |
| Resolução lateral |
1 µm |
2 µm |
5 µm |
| Exatidão |
± 80 nm |
± 300 nm |
± 1,2 µm |
| Abertura digital |
0.7 |
0.55 |
0.33 |
| Ângulo máximo de medição |
90°+/-44° |
90°+/-33° |
90°+/-20° |
| Gama de medição da espessura |
20 μm - 280 μm |
75 μm - 1,35 mm |
300 μm - 5,5 mm |
| Medição de Ra mínimo 1) |
< 0.1 µm |
< 0.8 µm |
NA |
